Lịch sử sửa đổi của “Phún xạ cathode”

ngày 7 tháng 7 năm 2021

ngày 30 tháng 12 năm 2017

ngày 17 tháng 9 năm 2017

ngày 7 tháng 12 năm 2016

ngày 22 tháng 5 năm 2014

ngày 10 tháng 10 năm 2013

ngày 22 tháng 8 năm 2013

ngày 4 tháng 8 năm 2013

ngày 5 tháng 3 năm 2013

ngày 4 tháng 12 năm 2012

ngày 23 tháng 9 năm 2010

ngày 11 tháng 12 năm 2007

ngày 7 tháng 9 năm 2007

ngày 20 tháng 6 năm 2007