Khác biệt giữa bản sửa đổi của “Kính hiển vi điện tử quét”
Nội dung được xóa Nội dung được thêm vào
Dòng 11:
==Một số phép phân tích trong SEM==
* Huỳnh quang catốt (Cathodoluminesence): Là các ánh sáng phát ra do tương tác của chùm điện tử với bề mặt mẫu. Phép phân tích này rất phổ biến và rất hữu ích cho việc phân tích các tính chất quang, điện của vật liệu. [[Hình: SEMJeol5410 LV.JPG|nhỏ|phải|300px|Thiết bị kính hiển vi điện tử quét Jeol 5410 LV tại Trung tâm Khoa học Vật liệu, [[Đại học Quốc gia Hà Nội]]]]
* Phân tích phổ tia X (X-ray microanalysis): Tương tác giữa điện tử với vật chất có thể sản sinh phổ tia X đặc trưng, rất hữu ích cho phân tích thành phần hóa học của vật liệu. Các phép phân tích có thể là [[phổ tán sắc năng lượng
* Một số kính hiển vi điện tử quét hoạt động ở chân không siêu cao có thể phân tích phổ điện tử Auger, rất hữu ích cho các phân tích tinh tế bề mặt.
==Ưu điểm của kính hiển vi điện tử quét==
Mặc dù không thể có độ phân giải tốt như [[kính hiển vi điện tử truyền qua]] nhưng kính hiển vi điện tử quét lại có điểm mạnh là phân tích mà không cần phá hủy mẫu vật và có thể hoạt động ở chân không thấp. Một điểm mạnh khác của SEM là các thao tác điều khiển đơn giản hơn rất nhiều so với TEM khiến cho nó rất dễ sử dụng. Một điều khác là giá thành của SEM thấp hơn rất nhiều so với TEM, vì thế SEM phổ biến hơn rất nhiều so với TEM.
| |||