Khác biệt giữa bản sửa đổi của “Kính hiển vi điện tử quét”
Nội dung được xóa Nội dung được thêm vào
→Tài liệu tham khảo: Alphama Tool |
n clean up, replaced: vào vào → vào using AWB |
||
Dòng 7:
Khi điện tử tương tác với bề mặt mẫu vật, sẽ có các bức xạ phát ra, sự tạo ảnh trong SEM và các phép phân tích được thực hiện thông qua việc phân tích các bức xạ này. Các bức xạ chủ yếu gồm:
* Điện tử thứ cấp (Secondary electrons): Đây là chế độ ghi ảnh thông dụng nhất của kính hiển vi điện tử quét, chùm điện tử thứ cấp có năng lượng thấp (thường nhỏ hơn 50 eV) được ghi nhận bằng ống nhân quang nhấp nháy. Vì chúng có năng lượng thấp nên chủ yếu là các điện tử phát ra từ bề mặt mẫu với độ sâu chỉ vài nanomet, do vậy chúng tạo ra ảnh hai chiều của bề mặt mẫu.
* Điện tử [[tán xạ]] ngược (Backscattered electrons): Điện tử tán xạ ngược là chùm điện tử ban đầu khi tương tác với bề mặt mẫu bị bật ngược trở lại, do đó chúng thường có năng lượng cao. Sự tán xạ này phụ thuộc rất nhiều
== Một số phép phân tích trong SEM ==
Dòng 51:
[[Thể loại:Thiết bị khoa học]]
[[Thể loại:Kính hiển vi điện tử]]
[[Thể loại:Các kỹ thuật khoa học]]▼
{{Liên kết chọn lọc|hu}}
▲[[Thể loại:Các kỹ thuật khoa học]]
|