Huyện Tây Hòa được thành lập vào ngày [[16- tháng 5-]] năm [[2005,]] trên cơ sở phần đất phía tây của huyện [[Tuy Hòa (huyện)|Tuy Hòa]] cũ.<ref name = ND62-2005>{{Chú thích web|url=https://thuvienphapluat.vn/van-ban/Bat-dong-san/Nghi-dinh-62-2005-ND-CP-thanh-lap-xa-thuoc-huyen-Tuy-Hoa-Song-Cau-chia-Tuy-Hoa-thanh-Dong-Hoa-Tay-Hoa-tinh-Phu-Yen-4654.aspx|title=Nghị định 62/2005/NĐ-CP về việc thành lập xã thuộc các huyện Tuy Hòa, Sông Cầu và chia huyện Tuy Hòa thành huyện Đông Hòa và huyện Tây Hòa, tỉnh Phú Yên|last=|first=|date=|website=|archive-url=|archive-date=|dead-url=|access-date=}}</ref>.
KhiSau mớikhi táchthành ralập, huyện Tây Hòa có 61.043 ha diện tích tự nhiên và 120.617 nhân khẩu, có 11 đơn vị hành chính trực thuộc, gồm các xã: Hòa Bình 1, Hòa Bình 2, Hòa Phong, Hòa Phú, Hòa Mỹ Tây, Hòa Mỹ Đông, Hòa Đồng, Hòa Tân Tây, Hòa Thịnh, Sơn Thành Đông, Sơn Thành Tây.
Ngày [[6- tháng 8-]] năm [[2013]], chuyển xã Hòa Bình 2 thành thị trấn Phú Thứ -, thị trấn huyện lịlỵ huyện Tây Hòa.<ref>{{Chú thích web|url=https://thuvienphapluat.vn/van-ban/Bo-may-hanh-chinh/Nghi-quyet-94-NQ-CP-nam-2013-thanh-lap-thi-tran-Hoa-Vinh-Hoa-Hiep-Trung-Phu-Yen-203553.aspx|title=Nghị quyết số 94/NQ-CP năm 2013 của Chính phủ về việc thành lập thị trấn Hòa Vinh, thị trấn Hòa Hiệp Trung thuộc huyện Đông Hòa và thị trấn Phú Thứ thuộc huyện Tây Hòa, tỉnh Phú Yên|last=|first=|date=|website=|archive-url=|archive-date=|dead-url=|access-date=}}</ref>.
Huyện Tây Hòa có 1 thị trấn và 10 xã như hiện nay.
