Khác biệt giữa bản sửa đổi của “Kính hiển vi điện tử quét”
Nội dung được xóa Nội dung được thêm vào
n r2.7.3) (Bot: Thêm el:Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης; sửa cách trình bày |
n chú thích, replaced: {{cite book → {{chú thích sách |
||
Dòng 1:
'''Kính hiển vi điện tử quét''' ([[tiếng Anh]]: '''''Scanning Electron Microscope''''', thường viết tắt là ''SEM''), là một loại [[kính hiển vi]] điện tử có thể tạo ra ảnh với độ phân giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng một chùm [[điện tử]] (chùm các electron) hẹp quét trên bề mặt mẫu. Việc tạo ảnh của mẫu vật được thực hiện thông qua việc ghi nhận và phân tích các bức xạ phát ra từ tương tác của chùm điện tử với bề mặt mẫu vật.
== Lược sử về kính hiển vi điện tử quét ==
Kính hiển vi điện tử quét lần đầu tiên được phát triển bởi Zworykin vào năm 1942 là một thiết bị gồm một súng phóng điện tử theo chiều từ dưới lên, ba thấu kính tĩnh điện và hệ thống các cuộn quét điện từ đặt giữa thấu kính thứ hai và thứ ba, và ghi nhận chùm điện tử thứ cấp bằng một ống nhân quang điện. [[Tập tin:
Năm 1948, C. W. Oatley ở [[Đại học Cambridge]] ([[Vương quốc Anh]]) phát triển kính hiển vi điện tử quét trên mô hình này và công bố trong luận án tiến sĩ của D. McMullan với chùm điện tử hẹp có độ phân giải đến 500 Angstrom. Trên thực tế, kính hiển vi điện tử quét thương phẩm đầu tiên được sản xuất vào năm [[1965]] bởi Cambridge Scientific Instruments Mark I.
== Nguyên lý hoạt động và sự tạo ảnh trong SEM ==
Dòng 10:
== Một số phép phân tích trong SEM ==
* Huỳnh quang catốt (Cathodoluminesence): Là các ánh sáng phát ra do tương tác của chùm điện tử với bề mặt mẫu. Phép phân tích này rất phổ biến và rất hữu ích cho việc phân tích các tính chất quang, điện của vật liệu. [[Tập tin:
* Phân tích phổ tia X (X-ray microanalysis): Tương tác giữa điện tử với vật chất có thể sản sinh phổ tia X đặc trưng, rất hữu ích cho phân tích thành phần hóa học của vật liệu. Các phép phân tích có thể là [[phổ tán sắc năng lượng tia X]] (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy - EDXS) hay [[phổ tán sắc bước sóng]] tia X (Wavelength Dispersive X-ray Spectroscopy - WDXS)...
* Một số kính hiển vi điện tử quét hoạt động ở chân không siêu cao có thể phân tích phổ điện tử Auger, rất hữu ích cho các phân tích tinh tế bề mặt.
Dòng 43:
* [http://www.sfc.fr/Material/hrst.mit.edu/hrs/materials/public/ElectronMicroscope/EM1990s.htm History of Electron Microscopy 1990s]
== Tài liệu tham khảo ==
*{{
{{Liên kết bài chất lượng tốt|fr}}▼
[[Thể loại:Thiết bị khoa học]]
[[Thể loại:Kính hiển vi điện tử]]
▲{{Liên kết bài chất lượng tốt|fr}}
[[ar:مجهر إلكتروني ماسح]]
| |||